世界上第一台蒸汽机是由古希腊数学家亚利山大港的希罗（Hero of Alexandria）于1世纪发明的汽转球（Aeolipile）,是蒸汽机的雏形。
约1679年法国物理学家丹尼斯.巴本在观察蒸汽逃离他的高压锅后制造了第一台蒸汽机的工作模型。约与此同时萨缪尔.莫兰也提出了蒸汽机的主意。
1698年托马斯.塞维利、1712年托马斯.纽科门和1769年詹姆斯.瓦特制造了早期的工业蒸汽机。瓦特逐渐发现这种蒸汽机的毛病所在，从1765年到1790年，他进行了一系列发明，比如分离式冷凝器、离心式调速器、节气阀、压力计等，使蒸汽机的效率提高到原来纽科门机的3倍多，最终发明出了现代意义上的蒸汽机。
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